廠家實(shí)力視頻:
生產(chǎn)車間面積超1.2萬(wàn)㎡,2021年銷售額突破3億元,在職員工近300人。

應(yīng)用行業(yè)

無(wú)錫冠亞氟化液制冷加熱控溫系統(tǒng)廣泛運(yùn)用在半導(dǎo)體制程中對(duì)反應(yīng)腔室控溫、熱沉板控溫及需要傳熱截止不可燃流體控溫場(chǎng)所,適用于半導(dǎo)體芯片制造流程、功率器件、航空電子設(shè)備中的制冷加熱溫度控制。
產(chǎn)品不僅能在眾多傳熱應(yīng)用中提供較好性能,而且不會(huì)對(duì)人身安全和環(huán)境可持續(xù)性產(chǎn)生負(fù)面影響。氟化液制冷加熱控溫是使用不可燃的絕緣液體氟化液,具有工作溫度范圍寬泛,易于維護(hù)等特點(diǎn),是傳統(tǒng)冷卻液體(如水、水乙二醇或油)的理想替代品。氟化液制冷加熱控溫系統(tǒng)用途廣泛,從半導(dǎo)體制程過(guò)程冷卻,再到對(duì)航空航天電子設(shè)備的冷卻都有應(yīng)用。

結(jié)構(gòu)原理

控溫系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)原理和功能優(yōu)勢(shì) 采用全密閉管道式設(shè)計(jì),降低導(dǎo)熱液需求量的同時(shí),提高系統(tǒng)的熱量利 用率,達(dá)到快速升降溫度。
氟化液具有低毒性、不可燃,屬于一種不會(huì)影響環(huán)境的可持續(xù)性發(fā)展的 高性能產(chǎn)品,可使溫室氣體排放量減少。同時(shí)針對(duì)氟化液易揮發(fā)特點(diǎn), 加強(qiáng)接頭設(shè)計(jì)、系統(tǒng)密封設(shè)計(jì),確保介質(zhì)使用壽命。
| 型號(hào) | FLTZ-402 FLTZ-402W | FLTZ-403 FLTZ-403W | FLTZ-404 FLTZ-404W | FLTZ-406 FLTZ-406W | FLTZ-408 FLTZ-408W | FLTZ-410 FLTZ-410W | FLTZ-415 FLTZ-415W |
| 溫度范圍 | ?-45℃~90℃ |
| 控溫精度 | ±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備) |
| 流量/壓力 MAX | 10~25L/min? 5bar | 15~45L/min 5bar | 25~75L/min 5bar |
| 制熱 | 采用壓縮機(jī)制熱,防止冷凝器結(jié)霜技術(shù) |
| 制冷量at-35℃ | 1kW | 1.4kW | 1.8kW | 2.5kW | 3.3kW | 5kW | 8kW |
| 內(nèi)循環(huán)液容積 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| 膨脹罐容積 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| 制冷劑 | R404A |
| 載冷劑 | 硅油、氟化液、乙醇水溶液等 |
| 進(jìn)出接口尺寸 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc1 | Rc1 |
| 冷卻水接口 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc1 | Rc1 | Rc1 | Rc1 1/8 |
| 冷卻水流量at20℃ | 1.5m3/H | 2.4m3/H | 3.5m3/H | 5m3/H | 5.5m3/H | 6m3/H | 8m3/H |
| ?藝過(guò)程溫度控制 | 可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹(shù)算法和串級(jí)算法相結(jié)合來(lái)控制遠(yuǎn)程?標(biāo)溫度(動(dòng)態(tài)控溫) |
| 外形尺寸 cm | 90*45*113 | 90*45*113 | 90*45*113 | 105*50*140 | 105*50*140 | 108*60*150 | 108*60*150 |
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