廠家實力視頻:
生產(chǎn)車間面積超1.2萬㎡,2021年銷售額突破3億元,在職員工近300人。

應(yīng)用行業(yè)

無錫冠亞氟化液制冷加熱控溫系統(tǒng)廣泛運用在半導(dǎo)體制程中對反應(yīng)腔室控溫、熱沉板控溫及需要傳熱截止不可燃流體控溫場所,適用于半導(dǎo)體芯片制造流程、功率器件、航空電子設(shè)備中的制冷加熱溫度控制。
產(chǎn)品不僅能在眾多傳熱應(yīng)用中提供較好性能,而且不會對人身安全和環(huán)境可持續(xù)性產(chǎn)生負面影響。氟化液制冷加熱控溫是使用不可燃的絕緣液體氟化液,具有工作溫度范圍寬泛,易于維護等特點,是傳統(tǒng)冷卻液體(如水、水乙二醇或油)的理想替代品。氟化液制冷加熱控溫系統(tǒng)用途廣泛,從半導(dǎo)體制程過程冷卻,再到對航空航天電子設(shè)備的冷卻都有應(yīng)用。

結(jié)構(gòu)原理

控溫系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計原理和功能優(yōu)勢 采用全密閉管道式設(shè)計,降低導(dǎo)熱液需求量的同時,提高系統(tǒng)的熱量利 用率,達到快速升降溫度。
氟化液具有低毒性、不可燃,屬于一種不會影響環(huán)境的可持續(xù)性發(fā)展的 高性能產(chǎn)品,可使溫室氣體排放量減少。同時針對氟化液易揮發(fā)特點, 加強接頭設(shè)計、系統(tǒng)密封設(shè)計,確保介質(zhì)使用壽命。
| 型號 | FLTZ-202 FLTZ-202W | FLTZ-203 FLTZ-203W | FLTZ-204 FLTZ-204W | FLTZ-206 FLTZ-206W | FLTZ-208 FLTZ-208W | FLTZ-210 FLTZ-210W | FLTZ-215 FLTZ-215W |
| 溫度范圍 | ?-25℃~90℃ |
| 控溫精度 | ±0.1℃(可定制±0.01℃控溫精度設(shè)備) |
| 流量 MAX | 10~25L/min | 15~45L/min | 25~75L/min |
| 制冷量at-15℃ | 2kW | 3kW | 3.8kW | 6kW | 7.6kW | 10kW | 15kW |
| 內(nèi)循環(huán)液容積 | 4L | 5L | 6L | 8L | 10L | 12L | 20L |
| 膨脹罐容積 | 10L | 10L | 15L | 15L | 20L | 25L | 35L |
| 制冷劑 | R404A |
| 載冷劑 | 硅油、氟化液、乙二醇水溶液等 |
| 進出接口 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc1 | Rc1 |
| 冷卻水接口 | Rc1/2 | Rc1/2 | Rc3/4 | Rc3/4 | Rc1 | Rc1 | Rc1 1/8 |
| 冷卻水流量at20℃ | 1.2m3/H | 1.6m3/H | 2.6m3/H | 3.6m3/H | 5.5m3/H | 7m3/H | 10.2m3/H |
| ?藝過程溫度控制 | 可根據(jù)?創(chuàng)?模型?建樹算法和串級算法相結(jié)合來控制遠程?標溫度(動態(tài)控溫) |
| 外形尺寸 cm | 90*45*113 | 90*45*113 | 90*45*113 | 105*50*140 | 105*50*140 | 108*60*150 | 108*60*150 |
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